副標(biāo)題#e#    1.3D可視化
   
    3D可視化可以讓MEMS設(shè)計師對設(shè)計意圖、正確的實施方法、碰撞檢測和封裝層疊的預(yù)裝件檢驗一目了然。促進(jìn)了企業(yè)內(nèi)部及外部的溝通，幫助設(shè)計人員在設(shè)計早期看到明晰、精確的零件圖和裝配圖，這不僅能讓MEMS設(shè)計師更好地向同事解釋設(shè)計意圖。而且可以通過展示3D特性為學(xué)術(shù)演講、融資等工作帶來方便。
   
    SolidWorks為設(shè)計師提供了真正的實體建模功能其中，SolidWorks Office Professional包含PhotoWorks, SolidWorks Animator和3D InstantWebsite軟件，提供了照片級的效果圖、豐富的動畫和基于Web的完整設(shè)計展示。SolidWorks利用動態(tài)裝配運(yùn)動和碰撞檢測功能實現(xiàn)零部件的干涉和特定間隙的檢查。物理仿真通過展示網(wǎng)格化的零件和其在裝配中的運(yùn)轉(zhuǎn)進(jìn)一步進(jìn)行運(yùn)動檢測。這種方式打破了表面微加工的設(shè)計慣例，確保了初始過程中的正確蝕刻和零件分離。
   
    2.亞微米特性定義
   
    SolidWorks實體建模軟件使MEMS設(shè)計師可進(jìn)行亞微米級的設(shè)計。事實上，用戶能夠在適當(dāng)?shù)奈⒚准墶⒓{米級甚至是埃級上進(jìn)行設(shè)計。這種亞微米定義能力意味著利用SolidWorks特有的實體建模能力，能夠?qū)⒛承╊愋偷母駯磐耆枋鰹榱Ⅲw模型。圖1為用SolidWorks設(shè)計的齒輪，其厚度為10微米，直徑為l20微米。每個齒的寬度是0.4微米，長度是10微米，蝕刻厚度為0.5微米。
   

    3.陣列以及陣列的建立
   
    SolidWorks允許對特征進(jìn)行陣列，這節(jié)省了設(shè)計師的時間并簡化了模型的構(gòu)建。凸臺和切口是兩個能夠在一個零件里陣列的特征。陣列可以通過直線、矩形或者通過曲線來定義。SolidWorks允許在裝配體里采用陣列，也可定義陣列的陣列，支持線性陣列的圓周陣列，也支持圓周陣列的線性陣列。事實上，陣列的定義和陣列的陣列的定義是相互獨(dú)立的，其中任何一種定義都可以通過直線、圓周和曲線幾何圖形完成。圖2為每個齒輪含一個孔和切口的陣列。這種齒輪的輻射陣列如圖左所示，它們的矩形陣列如圖右所示，這樣定義的陣列蝕刻起來比較容易。
   

    4.配工管理
   
    配置管理是指在單一文件或文檔中控制設(shè)計變化，它可用于元件或裝配件，也可用于制圖，如掩膜制圖等。配置管理能用較短的時間和較少的花費(fèi)在單一文件中生成零件、裝配件和工程圖的多個版本。SolidWorks提供多層配置，用以優(yōu)化配置的功用、組織和效率。
   
    SolidWorks配置管理功能在為眾多需求生成多種設(shè)計時，可以獲得最大的靈活性，同時，可以很方便地從以前的設(shè)計中產(chǎn)生新的配置文件，通過數(shù)據(jù)重用加快開發(fā)速度，以適應(yīng)市場的需求。
   
    配置管理可創(chuàng)建多種不同版本的MEMS結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)可以隨著尺寸的增加而自動加大表面特征尺寸和蝕刻深度。用戶可以在單個的SoIidWorks模型文件中對不同版本的MEMS設(shè)計實現(xiàn)簡易的控制。
   
    通過打開或關(guān)掉一個部件或裝配件的配置，對不同設(shè)計要求的"What if"情景進(jìn)行迅速瀏覽。此外，SolidWorks配置管理包括表面微加工和LIGA等多級處理的元件。通過使用單一零件的多個配置文件能很容易地生成相應(yīng)的文件。如需要反映一個單獨(dú)的版本或處理過程的狀態(tài)，配置管理技術(shù)可對此產(chǎn)生一個單獨(dú)的版本。這些版本可幫助用戶比較設(shè)計方案，跟蹤預(yù)期的性能，逐步展開工藝計劃。